5.2　我国微系统与微/纳加工技术现状

目前，微系统研究在我国已形成了如下方向：微型惯性器件和惯性测量组合、机械量微型传感器及致动器、微流量器件和系统、生物传感器、生物芯片、微操作系统、微型机器人、硅和非硅制造工艺。微系统在我国的近期应用和市场主要有导航和控制、汽车电子、生化分析和医学、微小卫星、微飞行器、工业检测、高密度存储等。为了掌握微系统设计、制造、检测、工艺、装备与系统集成等方面的具有自主知识产权的关键技术，建立我国的研发体系和产业化基地，并围绕医疗、消费电子、家电等行业，开发出若干小批量、多品种、高质量微系统器件及微系统，推动微系统技术的可持续发展和未来产业化的形成，我国政府和科技部门结合国际微系统发展趋势和我国社会经济发展的需要、微系统发展的实际情况，以支撑我国微系统产业化发展的应用基础为切入点，重点开展了如下的研究工作：

（1）微系统材料与微系统设计方法研究

开展机理和设计方法研究，以形成具有自主知识产权的微系统设计方法和仿真库，提高我国设计能力和设计水平；开发纳米材料在微系统中的应用，为提升微系统性能水平及发明新型微系统器件奠定基础。

（2）微系统产业化关键技术

提高加工的重复性和均匀性以及微系统器件可靠性；提供工艺设计规则、标准工艺及流程、材料参数等；产生一批有自主知识产权的关键技术，形成分类的微系统制造能力。选择优势单位，在研究单位相对集中的地区建设各具特色的制造基地。重点开展硅基微系统加工技术研究、微系统封装技术研究、LIGA及UV-LIGA技术研究、在线测试技术研究、微系统微机械装配技术研究等。(www.daowen.com)

（3）微系统器件及微系统

围绕生物化学分析、工业自动化、信息技术等行业的社会经济发展需要，开发出若干小批量、多品种、高质量的微系统器件及系统，包括：硅微型压力传感器、微型加速度传感器、惯性微硅陀螺、气体等微型传感器；微阀、微型电机、微泵、微喷等微型执行器；微型生化（血糖）分析检测仪器、环境监测微仪器等微系统。

主要研究内容如表1-2所示。

表1-2　国内微系统技术主要研究内容