超临界流体萃取装置，一般包括三个部分：①超临界流体发生源，由萃取剂贮槽、高压泵及其他附属装置组成。其功能是将萃取剂由常温、常压态转变为超临界流体。高压泵通常采用注射泵，其最高压力为十兆帕至几十兆帕，具有恒压线性升压和非线性升压的功能。②超临界流体萃取部分，包括样品萃取管及吸附装置。③溶质减压吸附分离部分，由喷口及吸收管组成。

萃取的过程是：处于超临界状态的萃取剂进入样品管，待测物从样品的基体中被萃取至超临界流体中，然后通过流量限制出口器进入收集器中。萃取出来的溶质及流体，由超临界态喷口减压降温转化为常温常压，此时流体挥发逸出，而溶质吸附在吸收管内多孔填料表面。用合适溶剂淋洗吸收管就可把溶质洗脱收集备用。(www.daowen.com)

依据超临界流体萃取技术操作方式的不同，可将超临界流体萃取的操作方式分为动态、静态及循环萃取三种。动态法是超临界流体连续通过样品基质，流路是单向的、不循环的，使被萃取的组分直接从样品中分离出来进入吸收管的方法。操作简便、快速，特别适合于萃取那些在超临界流体萃取剂中溶解度很大的物质，而且样品基质又很容易被超临界流体渗透的被测样品。静态法是将待萃取的样品“浸泡”在超临界流体内，经过一定时间后，再把含有被萃取溶质的超临界流体送至吸收管。静态法没有动态法那样快速，但适合于萃取那些与样品基体较难分离或在超临界流体内溶解度不大的物质，也适合于样品基体较为致密、超临界流体不易渗透的样品。循环法其本质是动态法和静态法的结合。该方法首先将超临界流体充满样品萃取管，然后用循环泵使样品萃取管内的超临界流体反复、多次经过管内的样品进行萃取，最后进入吸收管，因此比静态法萃取效率高，又能萃取动态法不适用的样品，适用范围广。