尺寸为几个纳米到几十纳米的颗粒，即常称的纳米颗粒具有许多块状材料不具备的优良性质。这些性质具有很强的尺寸、形状以及表面状态的依赖性。纳米颗粒可以通过多种物理或化学方法进行合成，如沉淀法、溶胶凝胶法、化学气相沉积、氯化物还原，沉积盐焙烧、机械球磨、气相法。前5种方法生产成本低廉，但是在纯度、活性等方面有严重的问题。气相蒸发等气相法是一种很清洁的方法，生产的纳米颗粒纯度高、结晶性好、活性高，非常适合于金属纳米颗粒的制备。这类方法中，在真空或惰性气体中的气相蒸发-冷凝是最广泛使用的一种，但是生产速率低、成本高、设备复杂，从而在实际中受到了很大限制。

热等离子体具有强的反应活性，可以让蒸发在一个活性的气氛下进行，具有强的氧化或还原特性，是一种能够很好解决这些问题的方法，尤其是非常适合金属纳米颗粒的制备，具有快速冷却效果，适合制备亚稳态的物质。以前在电弧熔解的时候实际观察到的物质蒸发并不大，等离子体方法没能在纳米材料制备中获得应用。后来发现在氩气中通入氢气后能够显著提高物质的蒸发，从而被用于纳米颗粒的制备上来。早期的工作时，Wata小组在氦气中引入15%的氢气，研究金属的蒸发，发现氢气具有很强的促进金属蒸发的效果。宇田雅光和他的助手发展了这种技术，他们采用一个电极取代了Plasma jet gun，同时利用50%Ar+50%H₂取代氦气和氢气的混合气，使这种工艺变得更简单，成本更低，产量更大，他们命名为氢等离子体金属反应法，之后等离子体制备纳米颗粒就逐步得到普及^[40，41]。(www.daowen.com)

等离子体作用后出现纳米颗粒的现象最初是由美国学者早在20世纪50年代就注意到和提出来的，而宇田雅光等从20世纪80年代起则系统地对其进行了大量研究工作。金属纳米颗粒除了金属的加热引起直接热蒸发而形成外，更重要的是因氢气等不同活性气体等离子体的作用而引起的，这种作用使纳米颗粒的合成速度提高十倍乃至数十倍^[42-43].