X射线光电子能谱（X-ray Photoelectron Spectroscopy，XPS）分析是一种对表面元素化学成分和元素化学态进行分析的技术。它可以给出原子序数为3～92的元素信息，以获得元素成分，还可以给出元素化学态信息，进而可以分析出元素的化学态或官能团。因此，XPS分析是材料科学研究的有力工具。本节采用的数据为试验中的XPS图谱，要求进行基线分析、寻峰和峰拟合。

（1）导入试验数据文件为工作表，如图14-91a所示；用该数据文件绘制的线图如图14-91b所示。

图14-91 导入的工作表和用该数据绘制的线图

（2）选择菜单命令【Analysis】→【Peak Analyzer...】，打开【Peak Analyzer】向导开始页面，如图14-92所示。在“Goal”中选择“Fit Peaks”复选框。

（3）单击“Next”按钮，进入“Baseline Mode”页面，如图14-93所示。选择“User Defined”基线模式。

图14-92 【Peak Analyzer】向导开始页面

图14-93 “Baseline Mode”页面

（4）单击“Add”按钮，在曲线上基线处双击添加定位点；单击“Done”按钮，完成定位点设置。

（5）单击“Next”按钮，进入“Create Baseline”页面，选择基线链接方式。此时，可以通过单击“Add”按钮再添加定位点，或通过单击“Modify/Del”按钮修改定位点或删去定位点。“Create Baseline”页面如图14-94所示。此时，在线图上可以看到定位点的位置和该定位点所确定的基线，如图14-95所示。

图14-94 “Create Baseline”页面

图14-95 有定位点和基线的线图

（6）单击“Next”按钮，进入“Baseline Treatment”页面，如图14-96所示。在该页面中可以进行减去基线的处理。可以选中“Auto Subtract Baseline”复选框，或单击“Subtract Now”按钮，则立即在图形中显示减去基线的效果。图14-96中由于基线基本是一条水平直线，所以未进行减去基线的处理。

（7）单击“Next”按钮进入“Find Peaks”页面，如图14-97所示。在该页面中去掉“Auto Find”复选框。通过单击“Add”按钮在曲线上添加峰位置，或通过单击“Modify/Del”按钮在曲线上修改或删去峰位置（此时需要结合专业知识完成）。当完成“Find Peaks”页面操作后，在曲线上标识出峰的位置，如图14-98所示。(www.daowen.com)

图14-96 “Baseline Treatment”页面

图14-97 “Find Peaks”页面

（8）单击“Next”按钮，进入“Fit Peaks”页面，如图14-99所示。在该页面中，可以选中“Show Residual”和“Show Derivative”复选框分析峰拟合的效果，可以通过定制确定输出的选项。如果选中了“Show Residual”和“Show Derivative”复选框，则在曲线中显示参差图和微分图，如图14-100所示。

图14-98 在曲线上标识出峰位置

图14-99 “Fit Peaks”页面

图14-100 曲线中显示参差图和微分图

（9）当满意拟合效果时，单击“Finish”按钮，完成拟合，输出拟合报表。图14-101所示为拟合曲线图，图中绿线为单个拟合峰，红线为3个拟合峰的叠加。图14-102所示为拟合输出报表。

图14-101 拟合曲线图

图14-102 拟合输出报表