成立于1947年的美国Endveco公司，早在1961年就建立了固态加速度计研究室，在1966年推出了量程1 000g的基于体硅加工的压阻式加速度传感器。1974年，Endveco研制成功了基于硅刻蚀工艺的MEMS加速度传感器（图14-27），量程达到100 000g。1983年，在高冲击测试领域最为著名的7270A加速度传感器问世，该系列传感器最大量程达到20 000 g，频响最高可达1.2 GHz。

7270A压阻式加速度传感器的实物照片的基本外形尺寸见图14-28。

根据Endveco公司的描述，7270A的传感系统是由一整块硅材料刻蚀加工而成的，在同一个硅片上包括内置质量块和应变计的四臂惠斯通全桥电路及附属的调零电阻。由于采用了微型质量块，该传感系统具有很高的谐振频率，阻抗较低，抗过载能力强，零阻尼、零相移，其常温下典型特性参数如表14-1所示。具有更高谐振频的传感器在测量脉冲冲击时具有更强的生存能力，其较高的频响以及零阻尼特性允许传感器在测量上升快、持续时间短的动态冲击时具有更精确的响应。此外，由于7270A系列传感器的低频响应一直扩展到直流范围，它们还可以用来进行长时间渐变量的测量。

图14-27　Endveco公司早期研制的基于硅加工的压阻加速度传感器

图14-28　Endveco公司的7270A压阻式加速度传感器(www.daowen.com)

表14-1　7270A系列压阻加速度传感器常温下典型特性参数

图14-29、图14-30是ARA公司使用7270A传感器进行动态侵彻试验测试的装置结构。

图14-29　ARA公司的侵彻试验弹结构

图14-30　ARA公司采用Endveco公司的7270A型压阻加速度传感器进行侵彻试验