发明者:洪丙熙(Byung Hee Hong),安钟炫(JonghyunAhn),裴秀江(Su-kang Bae),金贤根(Hyeong Keun Kim)。
在该专利装置和裴等(Bae et al.,2010)发表的研究成果中,石墨烯卷对卷式转移装置包含五个轧辊。在第一个轧辊组件上,石墨烯层在柔性基底上进行合成。将第一个轧辊组件提供的层状结构浸没入刻蚀剂中(溶液成分包含过硫酸铵、氢氟酸、缓冲蚀刻液,硝酸铁、三氯化铁或氯化铜),第二个轧辊组件会从层状结构上去掉该基底,同时,转移石墨烯层至第一个柔性基底。第三个轧辊组件从第一个柔性基底转移石墨烯层至第二个柔性基底。接着,第四个轧辊组件会在第一个或第二个柔性基底上的石墨烯层上形成一层保护层。最后,第五个轧辊组件起清洗与烘干层状结构的作用,该轧辊组件位于第二个与第三个轧辊组件之间。
图8.5仅展示三个基本的轧辊细节。
该处理过程有利于大型石墨烯片的生产,并且可控制沉积的过程(图8.5未显示),从而获得理想的石墨烯层数。(www.daowen.com)
图8.5 上面三幅图示:铜箔上的石墨烯薄膜进行滚动生产,包含聚合物载体的黏着力、铜刻蚀(清洗剂)以及目标基底上的干转印。使用类似的装置用于刻蚀可进行湿化学掺杂。下面三幅图示:用于滚动生产石墨烯薄膜的组件 (a)将外包有7.5in的石英管铜箔插入一个8in的石英反应器。图下方位置显示了铜箔在高温条件下与甲烷和氢气发生的反应 (b)在120℃条件下,从热剥离胶带用卷对卷式将石墨烯薄膜转移至聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜 Copyrightⓒ 2010,Rights Managed by Nature Publishing Group,Courtesy:Bae et al.,Nature Nanotechnology,5,574-578(2010)doi:10.1038/nnano.2010.132.
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