1.千分表法

千分表法是利用千分表测出被测零件表面对模拟理想平面（平板）的平行偏差量，进而评定平面度误差。此种方法简单易行，特别适合中、低精度的中型零件的平面度检测。

1）千分表三远点等高法

如图10-32（a）所示，让放置在标准平板上面的三个可调支撑的上面支撑起零件，千分表的表座在标准平板上移动，表的测头分别触及被测表面的a、b、c三点（该三点在被测表面上为相距最远的三点），通过调节可调支撑的高低，使千分表的读数在该三点相等，然后用千分表测整个被测表面，其最大与最小读数之差为该被测表面的平面度近似误差。当检测要求高时，可根据记录的各布点读数，用基面旋转法按最小条件得到平面度误差。

2）千分表对角等高法

如图10-32（b）所示，让放置在标准平板上面的三个可调支撑的上面支撑起零件，千分表的表座在标准平板上移动，表的测头分别触及被测表面a、b、c、d四点（该四点分别邻近被测表面的四个角），通过调节可调支撑的高低，使表的测头在a点与b点时，表的读数相等；使表的测头在c点与d点时，表的读数也相等。然后，用千分表测整个被测表面，其最大与最小读数之差为该零件被测表面的平面度近似误差。当要求高时，可根据记录的各布点读数，用基面旋转法按最小条件得到平面度误差。

图10-32　用千分表法检测平面度误差

（a）千分表三远点等高法；（b）千分表对角等高法

2.平晶干涉法

用平晶干涉法检测平面度适用于高精度的小平面，如量块工作面、千分尺的测砧平面等。如图10-33（a）所示，检测时，将平晶紧贴在被测平面上，由于光波的干涉作用，会出现干涉条纹，如图10-33（b）所示。根据干涉条纹的数目和条纹的形状，经过计算得到平面度误差。

如干涉条纹为直线时，则被测表面是平的，如条纹呈均匀弯曲的形状，则被测表面有平面度误差，其误差为

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图10-33　用平晶干涉法检测平面度误差

式中 a——干涉条纹的弯曲量；

b——干涉条纹间距；

λ——所用光源的光波波长。

3.斑点显示法

将被测平面均匀地涂上一层薄薄的显示剂（如红丹粉），然后将该平面放置在标准平板的工作面上，用手带动零件作前后、左右的往复移动，则被测平面高点的显示剂被摩擦去，并成为黑亮斑点，根据25mm×25mm面积内的斑点数及分布的均匀度来评定被测表面的平面度误差。

4.水平仪、光学平直仪法

将水平仪或光学平直仪的反射镜放置在被测表面上，按一定的布点和方向逐点检测（操作方法同检测直线度误差），经过计算得到平面度误差。

5.激光平面度仪法

激光平面度仪是光机电相结合的用于检测大平面平面度的新型检测仪器。传统检测大平面采用标准直线法，即选取平面上的一点作为检测的起始点，以过该点的水平线（或光线）作为基准，检测其他点相对水平线（或光线）的空间位置，经过积累和换算获得被测平面平面度误差原始数据。每次检测基准点均要变换和累计，且误差大又很繁琐。激光平面度仪是以一个在空间自动安平的激光面作为检测点的统一基准，即用于实际检测的一个“过渡基准平面”，通过在被测平面上运行的以二象限光电池为传感器的随动系统自动跟踪激光过渡基准平面的过程，测得被测平面上各点平面度误差的原始数据，然后输入计算机通过程序求得被测平面的平面度误差。

这种检测方法与传统的检测平面度方法相比，将线接触式检测转换为点接触式检测，检测精度较高，检测速度快，检测结果通过计算机直接打印，比较直观。

6.激光平面干涉仪法

激光平面干涉仪的工作原理是双光束等厚干涉原理。可精密检测光学平板的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性，光学镀膜面或金属量块表面的平面度，还可检测90°棱角的直角误差及角锥棱镜单角和综合误差。对于干涉条纹可目视、检测读数、照相留存记录。