激光是一种新型的光源，具有其他光源所无法比拟的优点，即很好的单色性、方向性、相干性和能量高度集中性，出现后很快就在科学研究、工业生产、医学、国防等许多领域中获得广泛的应用。现在，激光技术已成为建立长度计量基准和精密测试的重要手段。它不但可以用干涉法量测线位移，还可以用双频激光干涉法量测小角度，用环形激光量测圆周分度，以及用激光准直技术来量测直线度误差等。这里主要介绍应用广泛的激光干涉测长仪的基本原理。

常用的激光测长仪实质上就是以激光作为光源的迈克尔逊干涉仪，如图2-60所示。

图2-60　激光干涉测长仪原理

JB/T 5610—2006激光干涉仪

从激光器发出的激光束，经透镜L、L1和光阑P1组成的准直光管扩束成一束平行光，经分光镜M被分成两路，分别被角隅棱镜M1和M2反射回到M重叠，被透镜L2聚集到光电计数器PM处。当工作台带动棱镜M2移动时，在光电计数处由于两路光束聚集产生干涉，在光电计数处形成明暗条纹，通过计数就可以计算出工作台移动的距离为：(www.daowen.com)

式中 N——干涉条纹数；

λ——激光波长。

激光干涉测长仪的电子线路系统原理框图，如图2-61所示。

图2-61　激光干涉测长仪电路原理图