理论教育 光栅测量技术的应用与优化

光栅测量技术的应用与优化

时间:2023-06-28 理论教育 版权反馈
【摘要】:图2-59莫尔条纹JB/T 10080.1—2011光栅线位移测量系统第1部分:光栅数字显示仪表3.莫尔条纹的特征对光栅栅距的放大作用。莫尔条纹运动与光栅副运动的对应性。

光栅测量技术的应用与优化

1.计量光栅

长度计量测试中应用的光栅称为计量光栅,一般是由很多间距相等的不透光刻线和刻线间透光缝隙构成。光栅尺的材料有玻璃和金属两种。

计量光栅一般可分为长光栅和圆光栅。长光栅的刻线密度有每毫米25、50、100和250条等。圆光栅的刻线数有10 800条和21 600条两种。

2.莫尔条纹的产生

如图2-59(a)所示,将两块具有相同栅距(W)光栅的刻线面平行地叠合在一起,中间保持0.01~0.1 mm间隙,并使两光栅刻线之间保持一很小夹角(θ)。于是在a-a线上,两块光栅的刻线相互重叠,而缝隙透光(或刻线间的反射面反光),形成一条亮条纹。而在b-b线上,两块光栅的刻线彼此错开,缝隙被遮住,形成一条暗条纹。由此产生的一系列明暗相间的条纹称为莫尔条纹,如图2-59(b)所示。图2-59中莫尔条纹近似地垂直于光栅刻线,因此称为横向莫尔条纹。两亮条纹或暗条纹之间的宽度B称为条纹间距。

图2-59 莫尔条纹

JB/T 10080.1—2011光栅线位移测量系统第1部分:光栅数字显示仪表(www.daowen.com)

3.莫尔条纹的特征

(1)对光栅栅距的放大作用。根据图2-59的几何关系可知,当两光栅刻线的θ交角很小,条纹间距B的计算公式为:

式中 θ以弧度为单位。此式说明,适当调整夹角θ可使条纹间距B比光栅栅距W放大几百倍甚至更大,这对莫尔条纹的光电接收器接收非常有利。如W=0.04 mm,θ=0°13′15″,则B=10 mm,相当于放大了250倍。

(2)对光栅刻线误差的平均效应。由图2-59(a)可以看出,每条莫尔条纹都是由许多光栅刻线的交点组成,所以个别光栅刻线的误差和瑕疵在莫尔条纹中得到平均。设δ0为光栅刻线误差,n为光电接收器所接收的刻线数,则经莫尔条纹读出后的系统误差为:

由于n一般可以达几百条刻线,所以莫尔条纹的平均效应可使系统量测精度提高很多。

(3)莫尔条纹运动与光栅副运动的对应性。在图2-59(a)中,当两光栅尺沿X方向相对移动一个栅距W时,莫尔条纹在Y方向也随之移动一个莫尔条纹间距B,即保持着运动周期的对应性;当光栅尺的移动方向相反时,莫尔条纹的移动方向也随之相反,即保持了运动方向的对应性。利用这个特性,可实现数字式的光电读数和判别光栅副的相对运动方向。

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