【摘要】:OLED中有机材料对水、氧极其敏感,须采用封装层来进行阻隔。在玻璃基底上制备的OLED最具代表性的封装方法是玻璃盖板封装。薄膜封装是当前主流的柔性封装技术,该方法能够降低器件的重量和厚度。多层堆叠薄膜可进一步降低水蒸气透过率,例如Weaver等使用Al2O3和聚丙烯酸酯堆叠而成的复合结构封装OLED。另一种典型的薄膜封装技术是原子层沉积法。通过控制薄膜厚度和反应周期,利用ALD在原子尺度下形成薄且均匀的阻挡膜。
OLED中有机材料对水、氧极其敏感,须采用封装层来进行阻隔。在玻璃基底上制备的OLED最具代表性的封装方法是玻璃盖板封装。在惰性气体中,通过紫外线固化环氧树脂将一个刚性玻璃盖板连接到器件表面,并放置吸附剂用于吸收残余水分。然而,由于玻璃盖板不具备柔韧性,该方法并不适用于柔性OLED封装。
薄膜封装是当前主流的柔性封装技术,该方法能够降低器件的重量和厚度。通过溅射、蒸发或等离子体气相沉积对较低水蒸气透过率(Water Vapor Transmission Rate, WVTR)的高密度无机薄膜材料SiNx、SiOx、AlOx进行制备。多层堆叠薄膜可进一步降低水蒸气透过率,例如Weaver等使用Al2O3和聚丙烯酸酯堆叠而成的复合结构封装OLED。(www.daowen.com)
另一种典型的薄膜封装技术是原子层沉积法(Atomic Layer Deposition, ALD)。当薄膜的表面被完全覆盖后,一个循环沉积终止,这种自限性反应可防止针孔的出现,有效地屏蔽水蒸气。通过控制薄膜厚度和反应周期,利用ALD在原子尺度下形成薄且均匀的阻挡膜。上述薄膜封装方法可确保水蒸气透过率小于10-5g·m-2·d-1,但该方法的真空工艺导致价格昂贵,并且薄膜生长速率慢,不适于大规模生产。
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