理论教育 直接生长石墨烯在绝缘基底上

直接生长石墨烯在绝缘基底上

时间:2023-06-25 理论教育 版权反馈
【摘要】:近年来,科研人员在多种绝缘基底上直接生长石墨烯领域开展了一系列工作。除了玻璃基底,在高介电常数基底上也实现了直接生长石墨烯。在绝缘基底上直接生长石墨烯,研究人员采用两步法提高石墨烯的制备质量,即在成核过程中,通过使用较低浓度的甲烷来降低成核密度,而在生长过程中提高甲烷浓度以促进石墨烯的生长。Hwang等利用此方法成功在蓝宝石基底上直接制备了较高质量的石墨烯。

直接生长石墨烯在绝缘基底上

近年来,科研人员在多种绝缘基底上直接生长石墨领域开展了一系列工作。Sun等在软化温度约为600℃的普通玻璃上成功生长出了高质量的石墨烯[图2-42(a,b)]。此外,他们还利用乙醇作为碳源,成功制备了25in的石墨烯玻璃[图2-42(c,d)]。除了玻璃基底,在高介电常数基底(如SrTiO3)上也实现了直接生长石墨烯。与低介电常数基底(如SiO2)相比,SrTiO3能够有效减少栅极漏电、提升栅极电容从而获得更佳的栅极调制效果[图2-42(e~g)]。

图2-42 直接在绝缘基底上生长石墨烯 (www.daowen.com)

(a)在熔融玻璃上生长石墨烯示意图;(b)石墨烯玻璃照片;(c)以乙醇为碳源在固态石英玻璃上生长石墨烯示意图;(d)不同时间制备石墨烯玻璃样品照片;(e)在SrTiO3上生长石墨烯示意图;(f,g) 将SrTiO3上生长的石墨烯转移至SiO2和PET上的样品照片

此外,Chen等利用近平衡法直接在SiO2/Si、Si3N4、石英、蓝宝石等多种绝缘基底上成功生长了石墨烯。其中,SiO2/Si上生长的石墨烯能很好地与现有半导体硅工艺相结合,且能直接制备多种器件并进行电学性能表征。与金属基底上制备石墨烯类似,通过对SiO2/Si基底进行预处理同样可以提高制备石墨烯的质量。研究发现,氧能有效提高石墨烯的成核密度。理论计算表明,基底表面上的氧能提高C—C键结合的概率,从而促进石墨烯的生长,这与在金属基底表面引入氧可促进石墨烯生长的结论类似。在绝缘基底上直接生长石墨烯,研究人员采用两步法提高石墨烯的制备质量,即在成核过程中,通过使用较低浓度的甲烷来降低成核密度,而在生长过程中提高甲烷浓度以促进石墨烯的生长。此外,通过调节成核和生长过程中的反应温度也能实现同样的效果。Hwang等利用此方法成功在蓝宝石基底上直接制备了较高质量的石墨烯。h-BN作为一种新型基底,由于其具有良好的绝缘性、原子级平整的台面、没有悬挂键,且晶格常数与石墨烯接近(两者之间的晶格失配度只有1.8%)等特点,用h-BN作为石墨烯的基底能最大限度地保留石墨烯的本征特性,如上所述,研究人员在h-BN表面定向外延生长大面积单晶石墨烯。

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