双电测量法是将直线四探针法的两种测量模式进行如下组合（如图2所示）。

图2　双电测量法原理图

将探针垂直压在被测样品表面上分别进行I14U23和I13U24两种模式测量，测量过程如下：

（1）进行I14U23组合测量：

电流I从探针1→探针4，在探针2、3上测得电压U23+。

电流换向，I从探针4→探针1，在探针2、3上测得电压U23-。

计算正反向测量平均值：U23=(U23++U23-)/2。

（2）进行I13U24组合测量：

电流I从探针1→探针3，在探针2、4上测得电压U24+。

电流换向，I从探针3→探针1，在探针2、4上测得电压U24-。

计算正反向测量平均值：U24＝(U24++U24-)/2。(www.daowen.com)

（3）计算（U23/U24）值（以上U23、U24均以mV为单位）。

（4）按以下两公式计算几何修正因子C0。

若1.18＜（U23/U24）≤1.38 时，

若1.10≤（U23/U24）≤1.18 时；

（5）使用公式（12）计算方块电阻R□（单位：Ω/□）：

（6）若已知样品厚度t，可按下式计算样品电阻率ρ：

其中：R□为方块电阻值，单位为Ω/□；t 为样品厚度，单位为cm（t ≤0.3 cm）；s 为探针平均间距，单位为cm；F（t/s） 为厚度修正系数。

（7）计算百分变化率（以测试样品电阻率ρ为例）：

上式中：Smax是最大百分变化；Saverage是平均百分变化； ρM、 ρm 分别为测量所得电阻率的最大值和最小值，单位为Ω·cm； ρc 为第1、2 点（圆片中心测量点）的测量平均值，单位为Ω·cm； ρa 为除第1、2 点外其余各点的测量平均值，单位为Ω·cm。若测量样品的方块电阻值，则将（17）、（18）、（19）式中的ρM、 ρm、 ρa、 ρc 分别改成RM、Rm、Ra 和Rc ，其公式意义与ρM、 ρm、 ρa、 ρc 相似。