加速度传感器有多种形式，用电容式传感器做成的加速度传感器结构，如图3-33(a)所示。

图3-33　加速度传感器结构及等效电路

(a)结构；(b)等效电路

由图3-33(a)可知，加速度传感器有两个测力单元(也称重力传感器)。测力单元为差动式结构的变极距电容传感器。上下两块极板a 和b 为固定极板，与加速度传感器壳体固定成一体。中间极板c 是活动的，与活动框连成一体，经弹簧锚定在壳体上。

加速度传感器壳体可以沿水平方向固定在被测设备上，测被测设备的水平方向加速度；也可以沿竖直方向固定在被测设备上，测被测设备的竖直方向加速度(重力加速度以外)或静止时受到的地球引力(重力)。(www.daowen.com)

如图3-33(b)所示为加速度传感器壳体沿竖直方向固定在被测设备上时，一个测力单元的等效电路。被测设备竖直方向加速度(重力加速度以外，重力加速度会使整体一起移动)或静止时受到的地球引力(重力)，会使活动框连带中间极板上下移动。当向下移动时，C2电容量增大，C1减小；当向上移动时，C1电容量增大，C2减小。C1、C2与外接电阻R1、R2组成差动式电容传感器电桥测量电路，如图3-34 所示。

图3-34　差动式电容传感器电桥测量电路

如果C1、C2电容量变化，电桥电路输出电压uo就会发生变化。测出uo的变化量，可计算加速度(重力加速度以外)或静止时的地球引力(重力)。

加速度传感器有单轴和双轴两种，单轴加速度传感器的两个测力单元是同方向的，两个测力单元电容变化相叠加，可增加输出信号强度。双轴加速度传感器的两个测力单元分别为X 和Y 方向，两个测力单元电容变化量相减，不仅可以测出加速度或静止时地球引力的大小，而且可以测出方向。

加速度传感器输出信号很小，一般要加放大器，做成集成电路。