陶瓷薄膜种类繁多，有的已形成了产业，有的正处于研究阶段。按照应用，可分为光学薄膜、电子学薄膜、光电子学薄膜、集成光学薄膜和防护薄膜等。而按其作用，可将陶瓷薄膜分为功能薄膜和结构薄膜两大类。前者是利用薄膜材料本身作成元器件，后者的作用主要是增加底材的使用性能，如耐磨损、耐腐蚀、耐高温氧化、防热防潮和装饰性等，见表6·6中防护用薄膜。

作为功能陶瓷薄膜材料，目前研究的热点有高Tc超导陶瓷薄膜（包括Y—Ba—Cu—O和Bi—Sr—Ca—Cu—O系），多晶和外延单晶金刚石薄膜（特别是作为高温、高频和大功率半导体器件用的金刚石薄膜，以及用于微电子学、光电子以及集成光学的薄膜，如压电铁电薄膜PbTiO3、（Pb，La）TiO3、压电薄膜ZnO、AlN等。作为结构陶瓷薄膜，目前研究的重点是耐磨耐蚀的多晶金刚石薄膜或类金刚石薄膜，以及钛系化合物（如TiC，TiN，TiCN等）、硅系化合物（如SiC、Si3N4等）、氧化铝（Al2O3）以及由这些化合物组成的多层薄膜（如TiC/TiCN/TiN/Al2O3等）。

表6·6　陶瓷薄膜的应用分类

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续表6·6

注：示例列举的材料属于相对应的应用示例中的一种或多种。