氮化铝是共价键化合物,AlN晶体以[AlN4]四面体为结构单元,具有纤维锌矿型结构,属六方晶系,a=3.114Å,c=4.896 Å,比重3.261g/cm3,白色,单晶无色透明,常压下在2200℃~2250℃左右分解。
氮化铝粉末的纯度,颗粒尺寸及其分布、氧含量和比表面都影响氮化铝陶瓷的制备及性能。氮化铝粉末可采用铝粉氮化(N2+NH3)和Al2O3+C+N2等的多种制备方法。AlN是共价键强的难烧结物质,同时又易混入氧等杂质。目前使用的烧结工艺有无压烧结和热压两种方法,都能获得致密的陶瓷材料。因AlN烧结困难,制备氮化铝陶瓷时使用CaO、稀土氧化物Y2O3、La2O3、CeO2或SiO2、Fe2O3、TiO2等作为添加剂,其作用在于促进烧结,如钙或钇的氧化物与AlN颗粒表面的Al2O3反应生成低熔点液相,使整个烧结在有液相参与下进行,而最终达到致密化。这些液相冷却时生成铝酸钙或铝酸钇和玻璃相。AlN单晶的热导率为320W/(m·k),若在AlN陶瓷的晶界中没有玻璃相,AlN氧含量极低,则该陶瓷的热导率可提高到大于200W/(m·k)。
氮化铝陶瓷具有导热性好、耐高温、耐腐蚀、电绝缘性能好的优点。
氮化铝的热膨胀系数很接近半导体硅,并且无毒性,可用作大功率的电路基片。可用于双列直插式封装、扁平封装,AlN陶瓷的金属化性能较好,因而成为解决微电子技术热降问题的理想材料。烧结氮化铝陶瓷的一些物理性能与Al2O3、BeO基片材料比较见表5.3。利用AlN陶瓷耐热耐熔体侵蚀和热震性,可制作CaAs晶体坩埚、Al蒸发皿、磁流体发电装置及高温透平机耐蚀部件,利用其光学性能可作红外线窗口。
AlN陶瓷的发展动向主要有以下几个方面:(www.daowen.com)
(1)低温烧结 使用Y2O3—CaO—La2O3—CeO2—SiO2复合添加物以降低氮化铝陶瓷的烧结温度,抑制氧对AlN晶粒中的扩散,以获得晶粒小,性能好的AlN陶瓷材料,有利表面加工,降低成本和商业化。
表5.3 Al2O3、BeO、AlN基片材料性能对比
(2)透明AlN的制备 使用高纯、良好烧结性能的AlN粉,仔细设计颗粒尺寸及分布,在无添加物、常压下以1850℃保温7小时烧结,可获得高密度的AlN透明陶瓷,热导率>124W/(m·k),强度为340MPa。另外使用2.1wt%r 3CaO·Al2O3添加物在1800℃保温10小时烧结,可获得热导率>175W/(m·k)的材料。
(3)作为结构材料使用 AlN陶瓷用作高温结构材料,是需研究的重要课题。
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