压阻式压力传感器又称为固态压力传感器，是根据压阻效应原理制造的。压阻元件是基于压阻效应工作的一种压力敏感元件。所谓压阻元件，实际上就是指在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻。当它受外力作用时，其阻值由于电阻率的变化而变化。粘贴式应变计一般需通过弹性敏感元件来感受外力，而扩散电阻是直接通过单晶硅膜片感受被测压力。压阻式压力传感器的结构示意图如图9.8所示。它的核心部分是一块圆形的单晶硅膜片。在膜片上布置4个扩散电阻如图9.8（b）所示，组成一个全桥测量电路。膜片用一个圆形硅环固定，将两个气腔隔开，一面是与被测压力连通的高压腔，另一面是与大气连通的低压腔。当存在压差时，膜片产生变形，使两对电阻的阻值发生变化，电桥失去平衡，其输出电压与膜片承受的压差成比例。

压阻式压力传感器的主要优点是体积小，结构比较简单。其核心部分就是一个单晶硅膜片，它既是压敏元件又是弹性元件。扩散电阻的灵敏系数是金属应变片的灵敏系数的50～100倍，能直接反映出微小的压力变化，能测出十几帕斯卡的微压。它的动态响应也很好，虽然比压电晶体的动态特性要差一些，但仍可用来测量高达数千赫兹乃至更高的脉动压力，因此，这是一种比较理想、目前发展和应用较迅速的一种压力传感器。

这种传感器的缺点是敏感元件易受温度的影响，从而影响压阻系数的大小。解决的方法是在制造硅片时，利用集成电路的制造工艺，将温度补偿电路、放大电路甚至将电源变换电路集成在同一块单晶硅膜片上，并且将信号转换成4～20mA的标准信号传输，从而可大大提高传感器的静态特性和稳定性。因此，这种传感器也称一体化压力变送器。(www.daowen.com)

图9.8　压阻式压力传感器的结构示意图

1—低压腔；2—高压腔；3—硅杯；4—引线；5—硅膜片