位移测量中所采用的涡流传感器一般是以高频电涡流效应为原理的非接触式位移传感器。它可用来测量各种形式的位移量，线性范围较大，灵敏度高，结构简单，抗干扰能力强，测量范围为0～5mm，分辨率可达测量范围的0.1％。高频反射式电涡流位移传感器的结构主要由一个安置在框架上的扁平圆形线圈构成，此线圈可粘贴在框架上，或在框架上开一条槽沟，将导线绕在槽内。如图8.5所示为CZF1型涡流传感器的结构原理图。它将导线绕在框架窄槽内，形成线圈的结构方式。线圈采用高强度多股漆包线绕成，位于传感器的端部；线圈框架采用损耗小、电绝缘性能好、热膨胀系数小的聚四氟乙烯或高频陶瓷等材料制作；支座用于固定传感器；电缆和插头接后续测量电路，由于激励频率高，必须采用专用的高频电缆和插头。

由于涡流式传感器是利用线圈与被测导体间的电磁耦合进行工作的。因此，涡流式位移传感器及其后续测量电路的输出不仅与位移有关，还与被测物体的形状及表面层电导率、磁导率等有关。被测物体作为“实际传感器”的一部分，其材料的物理性质、尺寸、形状、表面状况发生变化时，将引起传感器灵敏度的变化。如果涡流式位移传感器测头下所对应的是被测物体的局部平面，而且面积较测头大得多，则其面积的变化不影响灵敏度。当物体被测表面积比测头面积小时，则灵敏度将随被测面积的减小而显著降低。如图8.6所示为被测物体直径对灵敏度的影响，纵坐标Kr为相对灵敏度，横坐标D/d为被测体直径与线圈直径的比值。为充分利用电涡流效应，平面被测体的直径不应小于线圈直径的1.8倍，圆柱被测体直径不应小于线圈直径的3.5倍。

图8.5　高频反射式涡流位移传感器(www.daowen.com)

1—线圈；2—框架；3—衬套；4—支座；5—电缆；6—插头

图8.6　　被测物体直径对灵敏度的影响

实验结果表明，被测体表面粗糙度对测量结果无影响，但被测体的材质对灵敏度有影响，其电导率越高，灵敏度越大，而磁导率相反，且磁性体比非磁性体的灵敏度低。表面镀层性质和厚度不均匀将影响测量精度。此外，表面层如有裂纹等缺陷时，对测量结果影响很大。