涡流式位移传感器是非接触式传感器。它具有测量动态范围大、结构简单、不受介质影响及抗干扰能力强等特点。

如图5.11所示为电涡流传感器的原理图。传感器以通有高频交流电流的线圈为主要测量元件。当载流线圈靠近被测导体试件的表面时，穿过导体的磁通量随时间变化，在导体表面感应出电涡流。电涡流产生的磁通量又穿过线圈，因此，线圈与涡流相当于两个具有互感的线圈。互感的大小和线圈与导体表面的间隙有关，等效电路如图5.11（b）所示。R，L为传感器线圈的电阻与自感，Re，Le为涡流的电阻和电感。

图5.11　电涡流传感器原理图

当试件与探头（线圈）之间的距离改变时，线圈中的阻抗也会发生变化，因此，涡流传感器可直接测量位移。(www.daowen.com)

如图5.12所示为一种典型的涡流位移传感器的示意图。它由两个线圈组成，一个为工作线圈，用于感知被测物体的运动状况，另一个为平衡线圈，用于构成电桥的一个桥臂并提供温度补偿。

电涡流传感器的特点是：结构简单，灵敏度高，线性度好，频率范围宽（0～10kHz），抗干扰性强，不受油污等介质的影响。目前，商用涡流位移传感器可测范围为0.25～30mm，非线性为0.5％，最高分辨率为0.000 1mm，被广泛应用于非接触式振动位移测量，特别是汽轮机组、空气压缩机组等回转轴系的振动检测、故障诊断。

图5.12　涡流位移传感器示意图

1—被测物体（导电材料）；2—主动线圈；3—平衡线圈