电容式传感器将被测量的变化转换为电容的变化，但是电容式传感器输出的电容及电容变化量很小，一般需要适当的后续电路将其转换为电压、电流或频率信号。常用的电路有以下4种：

（1）变压器式交流电桥

电容器传感器所用的变压器式交流电桥测量电路如图3.11所示。电桥两臂C1，C2为差动式电容传感器的电容，另外两臂为交流变压器二次绕组阻抗的1/2，即L1，L2。电桥的输出为一调幅波，经放大、相敏检波、滤波后获得输出，再推动显示仪表。

（2）直流极化电路

图3.11　变压器式交流电桥测量电路

直流极化电路又称为静压电容式传感器电路，多用于电容式传感器或压力传感器。其结构如图3.12所示。弹性膜片在外力作用下发生位移，使电容器电容量发生变化，电容器接在具有直流极化电压U0的电路中，电容的变化由高阻值电阻R转换为电压变化。由图3.12可知，电压输出为

式中　A——两极板所覆盖的面积。

由式（3.29）可知，电路输出电压与膜片的运动速度成正比。因此，此种传感器可测量气流（或液流）的振动速度，进而得到压力。

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图3.12　直流极化电路

（3）调频电路

图3.13　调频电路工作原理

调频电路结构如图3.13所示。传感器是电容式振荡器谐振回路的一部分，当输入量使传感器电容量发生变化时，振荡器的振荡频率发生变化，频率的变化经过鉴频器变为电压变化，再经过放大后由记录器或显示仪表指示。这种电路具有抗干扰性强、灵敏度高等优点，能够测量0.01μm的位移变化量。但电容受电缆分布影响较大，使用中需注意。

（4）运算放大器电路

图3.14　运算放大器电路

由于极距变化型传感器的灵敏度随极距而变化，即传感器电容量的变化量与极距变化呈非线性关系，这使得电容式传感器的应用受到一定限制。若采用比例运算放大器电路可得到输出电压与极距变化的线性关系，运算放大器电路如图3.14所示。输入阻抗采用固定电容C0，反馈阻抗采用电容式传感器的电容Cx，根据比例器的运算关系，当激励电压为U0时，输出电压为