【摘要】:在未进行划片封装的整片Wafer上,通过探针将裸露的芯片与测试机连接,从而进行的芯片测试就是CP测试。CP测试在整个芯片制作流程中处于晶圆制造和封装之间。CP测试已成为工艺控制、成品良率管理、产品质量以及降低测试成本的一个关键步骤。CP测试是采用测试仪器通过探针卡与晶圆上的压焊点接触以传输电信号进行测试。CP主要设备包括测试机和探针台。
在未进行划片封装的整片Wafer上,通过探针将裸露的芯片与测试机连接,从而进行的芯片测试就是CP测试。CP测试在整个芯片制作流程中处于晶圆制造和封装之间。晶圆(Wafer)制作完成之后,成千上万的裸Die(未封装的芯片)规则地分布满整个Wafer。由于尚未进行划片封装,芯片的管脚全部裸露在外,每颗IC(集成电路)在后工序之前都必须进行晶圆测试,以验证IC裸片的功能是否正常,并挑出不良的IC裸片。CP测试已成为工艺控制、成品良率管理、产品质量以及降低测试成本的一个关键步骤。
CP测试是采用测试仪器通过探针卡与晶圆上的压焊点(Pad)接触以传输电信号进行测试。现有的测试方法是晶圆上的每个IC都需要探针卡单独进行扎针测试,其存在的缺点是:随半导体工艺制程的进步,单片晶圆实现IC裸片数量越来越多(如单片晶圆可以实现几万个IC裸片),则对其进行CP测试时,这些极微小的管脚需要通过更细的探针(Probe)来与测试机台(Tester)连接。所需要的CP测试针卡数量及扎针次数越来越多,测试效率低,测试成本高,有必要对其进行改进。每颗IC在后工序之前都必须进行CP,以验证产品的功能是否正常,并挑出不良的产品和区分性能等级。
CP主要设备包括测试机(Tester)和探针台(Prober)。(www.daowen.com)
图8.1 Wafer上规则地排列着Die
Wafer就是晶圆,这个由Fab进行生产,上面规则地放着芯片(Die),根据Die的具体面积,一张晶圆上可以放数百数千甚至数万颗芯片(Die)。
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