【摘要】:FOL工艺流程如图7.2所示。图7.2FOL工艺流程常用到的FOL封装术语:Raw Material in Assembly:封装原材料。金线采用的是99.99%的高纯度金,同时出于成本考虑,目前有采用铜线和铝线合金工艺的。
下图为封装的前段工艺流程,在现有的集成电路芯片生产工艺中,一般具有以下步骤:硅片减薄、硅片切割、芯片贴装、芯片互连、成型技术、去飞边毛刺、切筋成型、上焊锡、打码。FOL工艺流程如图7.2所示。
图7.2 FOL工艺流程
常用到的FOL封装术语:
(1)Raw Material in Assembly:封装原材料。
(2)Wafer:晶圆。(www.daowen.com)
(3)Lead Frame:引线框架,主要材料为铜,会在上面进行镀Ag、Ni、Pd、Au等材料,如图7.3所示。
图7.3 引线框架
(4)Gold Wire:焊接金线。金线采用的是99.99%的高纯度金,同时出于成本考虑,目前有采用铜线和铝线合金工艺的。合金工艺优点:成本降低,有更好的机械性能。缺点:由于机械强度增加损失了一定的电性能;同时工艺难度加大,良率降低。线径决定可传导的电流,有0.8 mil,1.0 mil,1.3 mils,1.5 mils和2.0 mils。
(5)Mold Compound:塑封料/环氧树脂,主要成分为环氧树脂及各种添加剂(固化剂,改性剂,脱模剂,染色剂,阻燃剂等),主要功能是在熔融状态下将Die和Lead Frame包裹起来,提供物理和电气保护,防止外界干扰。
(6)Epoxy:银浆,成分为环氧树脂填充金属粉末(Ag),有三个作用:将Die固定在Die Pad上、散热、导电。
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