超净间是由下列各项子系统所组成，缺一不可，否则将无法构成一完整且品质良好的超净间。主要有洁净室系统、风淋系统、货淋室、净化房、洁净棚、百级工作台、称量室、FFU风机过滤单元、高效送风口、空气自净器、空气过滤器等。天花板系统：包括吊杆（Ceiling Rod）、钢梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling Grid）。空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。隔墙板（Partitional Wall）：包括窗户、门。地板：包括高架地板或防静电舒美地板。照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。

超净间的建筑主体构造，一般用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下条件：（1）不会因温度变化与振动而发生裂痕；（2）不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；（3）吸湿性小；（4）为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。超净间系统如图3.9所示。

图3.9　超净间系统

（1）风淋室是洁净厂房和装配式洁净室的设备，用于吹除进入净化厂房的人体和携带物品表面附着的尘埃，同时风淋室也起到气闸的作用，防止未经净化的空气进入洁净区域，是进行人体净化和防止外空气污染洁净区的有效设备，如图3.10所示。

图3.10　风淋室

（2）洁净棚，设置在无尘车间里，是指采用工业铝型材和有机玻璃阻隔起来的相对封闭的环境。

图3.11　无尘走廊

（3）洁净室围护结构如图3.12所示。墙板高质量的表面材料具备抗化学侵蚀、耐磨、抗刮擦等优良的性能，墙板四边封边避免了夹芯材料外泄以污染洁净室。一般以优质的隔热保温材料作为夹芯材料，根据需要预埋加强筋保证墙板的强度，并根据设计需要预埋线管方便各种管线通过。牢固严密的系统避免了空气的泄漏，其所有组件的连接都是平滑连接无突起。

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图3.12　洁净室围护结构

（4）洁净室顶板采用三明治式结构，两面为彩钢板，烤漆，钢板厚度为0.426 mm；中间为高密度的绝缘隔热夹芯，该顶板可供选择的夹芯材料有岩棉、纸蜂窝、铝蜂窝等材质，为了增强顶板强度，可在彩钢板内加入石膏或玻镁板，人员可以在上面行走，进行各种维护工作。其承重在100 kg以上。

（5）对于洁净室门有多种材质的门可供选择，如钢制门、彩钢板门、不锈钢门，洁净室门窗如图3.13所示。

图3.13　洁净室窗

（6）洁净室地面（环氧自流平）如图3.14所示。根据不同的客户需求，可以用环氧自流平、PVC卷材和环氧静电地面等不同种类材质的地面材料，并且可以提供具有抗静电表面的特殊地面材质，同时在一个项目中可以设计用不同颜色区分不同的洁净等级的地面。

图3.14　洁净室环氧自流平地面

（7）洁净室洁净灯采用嵌入式上检修洁净灯，易清洁，检修时亦不影响洁净室内正常生产，如图3.15所示。

图3.15　洁净室洁净灯