理论教育 从硅晶圆到晶圆制备:模块二探秘

从硅晶圆到晶圆制备:模块二探秘

时间:2023-06-16 理论教育 版权反馈
【摘要】:十八大以来,习近平总书记在不同场合多次谈到“爱国”,提出爱国主义是中华民族精神的核心。模块导读半导体晶圆或裸晶圆也叫硅片,是硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,其形状为圆故称为晶圆,它从大块的半导体材料硅锭中切割而来。本模块任务一介绍半导体和硅;任务二详细介绍单晶硅生长和晶圆制备;任务三介绍Wafer晶圆检测,任务四简介晶圆尺寸增长演变。掌握晶圆制备工艺。熟练掌握晶圆公制和英制尺寸变换。

从硅晶圆到晶圆制备:模块二探秘

课程思政——习近平谈“爱国”金句!

十八大以来,习近平总书记在不同场合多次谈到“爱国”,提出爱国主义是中华民族精神的核心。在新中国成立70周年之际,让我们一起重温习近平总书记谈“爱国”的经典话语,感受爱国主义情怀凝聚的磅礴伟力。爱国,是人世间最深层、最持久的情感,是一个人立德之源、立功之本。(摘自2019年10月01日人民网)

模块导读

半导体晶圆或裸晶圆(Wafer)也叫硅片,是硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,其形状为圆故称为晶圆,它从大块的半导体材料硅锭中切割而来。而硅锭是从具有多晶结构和未掺杂本征材料生长得来的。把高纯度的多晶硅(其纯度高达99.999 999 999%)转变成一个大单晶,给予正确的定向和适量的N型或P型掺杂,叫作晶体生长。由硅锭到晶圆(wafer)就是晶圆制备。本模块任务一介绍半导体和硅;任务二详细介绍单晶硅生长和晶圆制备;任务三介绍Wafer晶圆检测,任务四简介晶圆尺寸增长演变。

模块学习目标

(1)了解本征半导体硅的基本概念,理解N型、P型半导体意义。(www.daowen.com)

(2)掌握单晶硅生长及晶圆生长的直拉法(CZ法)。

(3)掌握晶圆制备工艺。

(4)了解Wafer晶圆检测概念。

(5)熟练掌握晶圆公制和英制尺寸变换。

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