在低于1×10⁵Pa（通常是10^－1～10Pa）的渗氮气氛中，利用工件（阴极）和阳极之间产生的等离子体进行的渗氮称为离子渗氮。

1.适用范围

该工艺除适用于气体渗氮的范围外，还特别适用于要求渗氮变形小和速度快的工件。

2.技术要求

离子渗氮的技术要求与普通渗氮相同。

3.操作守则

1）渗氮件入炉前，应仔细清理其表面，使之没有氧化皮、油脂及其他污物，以免影响渗氮质量。特别是不锈钢一定要去除氧化膜。

2）工件装炉时，估算其总面积，以便确定比功率。

3）对非渗氮部分、不通孔及沟槽等处采取屏蔽措施。

4）对长管件内壁及温度偏低部位，应增加辅助阳极或阴极。(www.daowen.com)

5）工件装炉完毕，首先抽真空至10Pa以下，然后接通直流电源，并通入少量气体起辉，以便用轻微打弧方法去除工件表面污物。

6）待辉光稳定后增加气体流量，以提高炉内压力，一般控制在130～1060Pa范围内。其中，结构钢零件炉内压力为266～532Pa，高合金钢工模具为133Pa。

7）增加电压和电流，待工件到温度后再调节电压，维持适当的电流密度，直至完成预定时间后关闭阀门，停止供气和排气，切断辉光电源。

8）工件在处理的气氛中随炉冷却到200℃以下，即可出炉。

4.具体应用

实例 几种模具离子渗氮工艺见表1-71

表1-71 几种模具离子渗氮工艺