作为半闭环控制，位置检测器不在坐标轴最终运动部件上，也就是说还有部分传动环节在位置闭环控制之外，需要对丝杆螺距的误差进行补偿。反向间隙用于补偿机床的失动量，用激光干涉仪测量。

①设定下列参数

P3620：位于参考点（每个轴）的螺距误差补偿的位置号，A1=60，A2=210，A3=310；

P3621：（每个轴）螺距误差补偿的最小位置号，A1=0，A2=100，A3=200；

P3622：（每个轴）螺距误差补偿的最大位置号，A1=61，A2=211，A3=311；

P3623：（每个轴）螺距误差补偿放大率，A1=1，A2=1，A3=1；(www.daowen.com)

P3621：（每个轴）螺距误差补偿的位置间隔，单位：μm，A1=20000，A2=20000，A3=20000。

②按功能键SYSTEM找到螺距误差设定页面，从0～1023共有1024个补偿位置可使用。

③根据激光干涉仪系统测出的数据，在相应的参数号后输入补偿数据。

④坐标轴的失动量是该坐标轴进给传动链上驱动部件（如伺服电动机）的反向死区，各机械运动传动副的反向间隙和弹性变形等误差的综合反映。此误差越大，则定位精度和重复定位精度也越差。

P1851：（每个轴）反向间隙补偿值，A1=48，A2=44，A3=17。