理论教育 激光增强电镀与电沉积复合处理技术

激光增强电镀与电沉积复合处理技术

时间:2023-06-15 理论教育 版权反馈
【摘要】:例如,在选择性电镀中,一种被称为激光诱导化学沉积的方法尤其引人入目,即使不施加槽电压,对浸在电解液中的某些导体或有机物进行激光照射,也可选择性地沉积Pt、Au或Pt-Ni合金,具有无掩膜、高精度、高速率的特点,可用于微电子电路和金属电路的修复等高新技术领域。这类装置也可用来电镀Cu、Au等金属,并取得了良好的效果。图13-5 激光电镀实验装置

激光增强电镀与电沉积复合处理技术

在电解过程中,用激光束照射阴极,可极大地改善激光照射区的电沉积特性。激光增强电沉积,可迅速提高沉积速度而不发生遮蔽效应,能改善电镀层的显微结构,可望在选择性电镀、高速电镀和激光辅助刻蚀中获得应用。例如,在选择性电镀中,一种被称为激光诱导化学沉积的方法尤其引人入目,即使不施加槽电压,对浸在电解液中的某些导体或有机物进行激光照射,也可选择性地沉积Pt、Au或Pt-Ni合金,具有无掩膜、高精度、高速率的特点,可用于微电子电路和金属电路的修复等高新技术领域。在高速电镀中,当激光照射到与之截面积相当的阴极面上,不仅其沉积速率可提高103~104倍,而且沉积层结晶细致,表面平整。

成都表面装饰应用研究所采用图13-5所示的一种激光电镀实验装置,研究了在高强度CO2激光束照射下(图中为背向照射阴极,也可以正向照射阴极),瓦特镍Ni/Ni+电极体系电沉积镍层的性质及其变化规律。研究表明,激光照射能提高阴极极化效果。虽然激光电沉积镍层为微裂纹结构,但与基体结合力高,在一定的光照时间内,可获得结晶细致、表面平整的镀镍层。这类装置也可用来电镀Cu、Au等金属,并取得了良好的效果。

978-7-111-58993-8-Chapter13-6.jpg(www.daowen.com)

图13-5 激光电镀实验装置

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