1.微细等离子体加工的基本原理

微细等离子体加工又称为微细等离子弧加工，是利用电弧放电使气体电离成过热的等离子气体流束，靠局部熔化及气体去除材料。等离子体被称为物质的第四种状态。等离子体是高温电离的气体，它由气体原子或分子在高温下获得能量电离之后，离解成带正电荷的离子和带负电荷的自由电子，整体的正负离子数目和正负电荷仍相等，因此称为等离子体，具有极高的能量密度。

采用这种方法可以进行大面积平面抛光、局部抛光、非球面的成形和抛光等。采用此方法进行光学零件的加工，可以避免亚表面损伤层的出现，提高光学零件表面加工等级，实现高精密加工，该项技术包括真空等离子抛光和常压（大气压）下等离子抛光。等离子体加工涉及光学加工、自动控制、等离子体物理、化学气相反应以及流体动力学等学科的相关内容，日本、美国已经开始了对该项技术的应用基础研究，并取得了初步的研究成果。(www.daowen.com)

2.微细等离子体加工的主要特点

由于等离子体电弧对材料直接加热，因而比用等离子体射流对材料的加热效果好得多。因此，等离子体射流主要用于各种材料的喷镀及热处理等方面；等离子体电弧则用于金属材料的加工、切割以及焊接等。等离子弧不但具有温度高、能量密度大的优点，而且焰流可以控制。适当地调节功率大小、气体类型、气体流量、进给速度、火焰角度以及喷射距离，可以利用一个电极加工不同厚度和多种材料。