相比于晶体硅电池，我国的薄膜硅电池产业同国外差别较大。在我国113家电池企业中，有75家企业生产晶硅太阳电池，38家企业生产薄膜太阳电池。

由于非晶硅具有严重的光致衰减效应，为了提高薄膜硅电池转换效率，目前国际上的研究和产业的热点都集中在非晶硅/微晶硅叠层电池上。欧洲的Oerlikon公司、日本的Ulvac公司、美国Applied Material公司在这方面处于国际领先水平，它们可以提供交钥匙工程。美国的Applied Material公司生产的设备后来发现有些不足之处，宣布不再提供交钥匙工程。我国自主的薄膜硅电池生产技术仍停留在非晶硅薄膜电池技术上。国内硅薄膜生产企业主要有两种：一种依赖国外进口的交钥匙设备生产非晶/微晶叠层电池；另一种依赖国产设备生产非晶硅叠层电池。但是大部分企业生产线规模都不大，在几十兆瓦。在美国Applied Material公司和欧洲Oerlikon公司的生产线上，国内企业已经调试出了稳定转换效率大于9%的非晶硅/微晶硅叠层电池组件。但这种进口的交钥匙型完整生产线在设备维护等方面依赖国外供应商，不利于企业优化成本构成，提高企业竞争力。我国的非晶硅电池组件稳定转换效率为6%左右，采用的国产硅基薄膜电池生产设备主要是基于美国EPV公司的单室沉积技术。通过消化吸收，不断完善国产的单室沉积非晶硅电池的设备水平和工艺完整与可靠性，均已达到国际同类水平。福建钧石能源公司基于自主研发的EPV生产线，采用非晶硅/非晶硅锗/非晶硅锗三结叠层电池工艺，使其组件稳定转换效率已超8%，目前其生产规模已达350MW。北京铂阳精工可提供基于EPV技术的整条生产线。其生产工艺技术为钧石能源公司的非晶硅/非晶硅锗/非晶硅锗三结叠层电池技术。成都双流汉能公司采用北京伯阳精工的上述生产线，建设的250MW生产线目前已经投产。国内硅薄膜电池厂分布见表4-3。

表4-3 国内硅薄膜电池厂分布

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（续）